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본 연구를 통해서 정전용량 방식의 이차원 마이크로볼로미터를 위한 저잡음 신호취득 회로를 연구하였다. 잡음 대역폭이 매우 낮고 픽셀 면적이 작기 때문에 비 적분형 방식의 간단하고 효과적인 픽셀 단위의 회로를 사용했다. 또한, 가장 문제가 되는 kT/C 잡음을 줄이고 전력소모를 낮추기 위해 새로운 CDS 방식을 열 단위의 회로에 사용했다. 제안하는 회로는 0.35-μm 2-poly 4-metal CMOS 공정을 이용하여 설계했고, 마이크로볼로미터의 픽셀 크기는 50 μm × 50 μm이다. 제안하는 신호취득 회로는 볼로미터의 kT/C 잡음 등을 포함한 저주파 잡음을 효과적으로 제거하며, 제작된 칩에 대한 잡음 측정을 통하여 이를 검증하였다. 제안하는 회로는 간단한 신호취득 회로에 비해 그 잡음을 30 %에서 55 % 이하까지 개선할 수 있으며, 전체 감지 시스템의 잡음등가온도차(NETD)를 21.5 mK 정도로 낮출 수 있다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 신호취득 회로 설계
Ⅲ. 결과
Ⅳ. 결론
REFERENCES
참고문헌 (5)
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1. [학술대회논문] - E. Mounier / 2011 / Microbolometers for thermography and night vision markets / Proc. SPIE 7930 : 79300E-1 ~ 79300E-6
2. [학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2013 / Uncooled microbolometer arrays with high responsivity using meshed leg structure / IEEE Photonics Tech. Letters 25 (21) : 2108 ~ 2110
3. [학술대회논문] - D. Murphy / 2002 / High sensitivity 25μm microbolometer FPAs / Proc. SPIE 4721 : 99 ~ 110
4. [학술지(정기간행물)] - I. W. Kwon / 2008 / Design and fabrication of a capacitive infrared detector with a floating electrode and thermally isolatable bimorph legs / Sensors and Actuators A : Physical 147 : 391 ~ 400
5. [학술지(정기간행물)] - T. Kajita / 2001 / Correlated double sampling integrator insensitive to parasitic capacitance / Electronics Letters 37 (3) : 151 ~ 153
2. [학술지(정기간행물)] - Y. S. Kim / 2013 / Uncooled microbolometer arrays with high responsivity using meshed leg structure / IEEE Photonics Tech. Letters 25 (21) : 2108 ~ 2110
3. [학술대회논문] - D. Murphy / 2002 / High sensitivity 25μm microbolometer FPAs / Proc. SPIE 4721 : 99 ~ 110
4. [학술지(정기간행물)] - I. W. Kwon / 2008 / Design and fabrication of a capacitive infrared detector with a floating electrode and thermally isolatable bimorph legs / Sensors and Actuators A : Physical 147 : 391 ~ 400
5. [학술지(정기간행물)] - T. Kajita / 2001 / Correlated double sampling integrator insensitive to parasitic capacitance / Electronics Letters 37 (3) : 151 ~ 153
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