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저자정보
김택영 (한국산업기술대학교) 강창훈 (한국산업기술대학교) 신윤섭 (한국산업기술대학교) 김태수 (한국산업기술대학교) 최선호 (한국산업기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제39권 제4호
발행연도
2015.4
수록면
309 - 316 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2015

가열식 액체용 질량유량계측기에 관한 이론 및 실험적 연구
김택영 ,  강창훈 ,  신윤섭 외 2명 대한기계학회 논문집 B권 2015.04 학술저널
단속가열식 액체용 극소질량유량 계측기에 관한 수치해석적 연구
김택영 대한기계학회 논문집 B권 2015.02 학술저널

2014

단속가열식 액체용 질량유량계측기에 관한 수치해석적 연구
김택영 대한기계학회 춘추학술대회 2014.04 학술대회자료

초록· 키워드

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가열식 액체용 질량유량계측기(LMFM, Liquid Mass Flow Meter)에 대하여 수치해석적으로 분석하였으며 실험을 통하여 검증하였다. 기존의 기체용 질량유량계측기(GMFM, Gas Mass Flow Meter)와 동일한 구조로 설계하였으나 계측온도차는 기체용에 비하여 정 반대의 특성을 나타낸다. 기체는 열용량이 작아서 계측관벽을 통한 전도열전달이 기체의 유동에 따른 대류열전달에 대응할 정도이므로 이들 상호작용의 결과 상하류 써미스터의 온도차가 질량유량에 비례한다. 반면, 열용량이 큰 액체의 경우 대류열전달이 지배적이 되어 계측관벽을 통한 전도열전달이 무시되며, 결과적으로 온도차가 질량유량에 반비례한다. 계측관경과 히터의 권선폭은 LMFM 의 중요한 설계인자로서 각각 최적화가 필요하다. 최적화 설계를 통하여 제작한 계측기는 반도체 생산장비의 극소유량 정밀제어 및 공급용으로 사용할 수 있다.
#Liquid Mass Flow Meter(액체용 질량유량계측기) #Steady Heating Type(정상가열방식) #Circular Tube Convective Heat Transfer(원형관 대류열전달)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 이론분석 및 결과
3. 실험적 검증
4. 결론
참고문헌(References)

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Toda, K. / 1998 / Characteristics of a Thermal Mass-Flow Sensor in Vacuum Systems / Sensors and Actuators A 69 : 62 ~ 67 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Tison, S. A. / 1996 / A Critical Evaluation of Thermal Mass Flow Meters / J. Vac. Sci. Technol. A 14 (4) : 2582 ~ 2591 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Kim, S. J. / 2001 / Experimental and Numerical Analysis of Heat Transfer Phenomena in a Sensor Tube of a Mass Flow Controller / Int. J. Heat Mass Transfer 44 : 1711 ~ 1724 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Henry, M. P. / 2003 / Response of a Coriolis Mass Flow Meter to Step Changes in Flow Rate / Flow Measurement and Instrumentation 14 : 109 ~ 118 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Cheesewright, R. / 2003 / The Dynamic Response of Coriolis Mass Flow Meters / Journal of Fluid Structures 18 : 165 ~ 178 google schola

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