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Tribological Behavior of MoS₂2D Thin Film Synthesized by PECVD Method
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구
전기전자학회논문지
2018 .09
PECVD Process Chamber 최적 구조에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
스퍼터링 Mo 도핑 탄소박막의 특성과 유기박막트랜지스터의 게이트 전극으로 응용
전기전자재료학회논문지
2017 .01
반도체 건식 식각 및 PECVD시스템에서 진공중 웨이퍼 반송에 따른 상호오염 시뮬레이션
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
Screw Type Jig 적용에 따른 반도체용 PECVD Chamber 가공형상정밀도 향상에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .10
PECVD법을 이용하여 제작된 DLC 코팅막의 밀착력과 마찰 마모 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
MoS₂의 특성을 활용한 광센서의 성능 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
MoS₂ 나노파티클의 합성과 열처리
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
Synthesis of wafer scale Molybdenum Oxide using PECVD for flexible gas sensor application
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
n형 양면 결정질 실리콘 태양전지의 SiNx/SiOx 이중층 영향에 관한 연구
Current Photovoltaic Research
2024 .09
Ti-Mo-N 박막의 물리적 특성 기초 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
플라즈마 공정으로 합성 된 MoS₂ 나노박막의 트라이볼로지 특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
MOS 구조를 이용한 Power Rectifier 제작 및 특성분석 연구
대한전자공학회 학술대회
2017 .06
원자층증착법으로 성장시킨 MoS₂ 박막을 다른 기판으로 이전하기
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
스퍼터링법에 의해 형성된 MoS2 박막의 막질 향상을 위한 황화공정 최적화
대한전자공학회 학술대회
2017 .11
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