PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구

안경회 ,  박찬혁

대한전기학회 워크샵

2021 .04

PECVD Process Chamber 최적 구조에 관한 연구

박상현 ,  이종찬

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

PECVD를 이용한 MoS₂ 반도체 박막의 저온 합성 및 특성 파악

안치성 ,  이진환 ,  김형우 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

PECVD법을 이용하여 제작된 DLC 코팅막의 밀착력과 마찰 마모 특성

이경황 ,  진서윤 ,  김서희 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

Tribological Behavior of MoS₂2D Thin Film Synthesized by PECVD Method

Kub ,  a Aydin ,  Hae Won Yoon 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

플라즈마 처리장치용 소스에 대한 연구

안경회 ,  박찬혁

정보 및 제어 논문집

2021 .04

PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구

정연주 ,  박현준 ,  김형순 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

n형 양면 결정질 실리콘 태양전지의 SiN_x/SiO_x 이중층 영향에 관한 연구

박형기 ,  박진주 ,  이준신

Current Photovoltaic Research

2024 .09

반도체 건식 식각 및 PECVD시스템에서 진공중 웨이퍼 반송에 따른 상호오염 시뮬레이션

김선범 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

Screw Type Jig 적용에 따른 반도체용 PECVD Chamber 가공형상정밀도 향상에 관한 연구

강동원 ,  최윤서 ,  박상현 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

슬랏 안테나 두께에 따른 원통형 TE₁₁ 선형 마이크로웨이브 플라즈마 특성 분석

차주홍 ,  김상우 ,  정성현 외 1명

전기학회논문지

2023 .12

Synthesis of wafer scale Molybdenum Oxide using PECVD for flexible gas sensor application

손주현 ,  안치성 ,  김형우 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

Field Effect Passivation of Plasma Oxidized SiOx Layer on P type Emitter surface by PECVD

Sooyoung Pa ,  k ,  Geyongbae Shim 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

플라즈마 처리장치에 대한 연구

안경회 ,  박찬혁

정보 및 제어 논문집

2021 .04

PECVD SiON 절연막을 이용한 4H-SiC MOS 소자 특성 연구

김현섭 ,  이재길 ,  임종태 외 1명

전기전자학회논문지

2018 .09

플라즈마를 이용한 초친수성 폴리머 표면 제작과 그 응용

윤선미 ,  남산 ,  문명운

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

In-Situ Monitoring of Multiple Oxide/Nitride Dielectric Stack PECVD Deposition Process

장동범 ,  홍상진

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2018 .02

Optimization of tunnel oxide by plasma oxidation on rear side for high efficiency n-type c-Si solar cell

Sooyoung Pa ,  k ,  Geyongbae Shim 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05