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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
안경회 (옥토끼이미징) 박찬혁 (고려대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 워크샵 대한전기학회 ISC 2021 정보 및 제어 심포지엄
발행연도
2021.4
수록면
114 - 115 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구
안경회 ,  박찬혁 정보 및 제어 논문집 2021.04 학술대회자료
PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구
안경회 ,  박찬혁 대한전기학회 워크샵 2021.04 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구는 플라즈마를 발생시켜 피처리 물에 대하여 소정의처리를 하는 장치에 있어서, 보다 상세하게는 PECVD용 소스를 중심으로360°의 범위에서 전방위적으로 증착 할 수 있는 플라즈마 처리장치에 관한 것이다. 본 연구에 의한 플라즈마 처리장치는 챔버의 내부에 PECVD용 소스가 구비되는 플라즈마 처리장치에 있어서, 상기 PECVD용 소스는, 내부가 중공된 전극 보호관; 상기 ... 전체 초록 보기

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