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PA-ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착 시 Plasma 노출 시간이 Al₂O₃/Si 계면 특성에 미치는 영향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .04
다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoOx film의 특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
결정질 실리콘 태양전지의 Al2O3/SiNX 패시베이션 특성 분석
Current Photovoltaic Research
2017 .06
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
ALD를 이용한 Al₂O₃ 증착유무에 따른 페로브스카이트 태양전지의 성능비교
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2022 .10
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 박막의 물리적·전기적 특성 비교
한국재료학회지
2017 .01
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
결정질 실리콘 태양전지 적용을 위한 ALD-Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> 패시베이션 막의 산화질화막 적층 특성
한국재료학회지
2015 .01
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
Al₂O₃ interlayer 도입을 통한 MoOX박막 패시베이션특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2021 .05
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
ALD Al₂O₃ layer 증착에 의한 Sn-3.0Ag-0.5Cu/Cu 접합부 금속학적 및 기계적 특성
대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집
2024 .10
Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
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