Silicon oxide etching studies in inductively coupled fluorocarbon plasmas

Won-Seok Chang ,  Deuk-Chul Kwon ,  Mi-Young Song 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

What do we know about plasma?

유석재

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

C6F6를 이용한 Plasma 공정 중 회수 전후의 가스 및 Plasma 특성 연구

오지영 ,  이지환 ,  정준호 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Fluorocarbon 플라즈마 물성 데이터 complete-set의 개발: 수치적 최적화 및 압축

정상영 ,  권득철

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Characterization of linear microwave plasma according to conditions of TEM waveguide using fluid simulation

서권상 ,  한문기 ,  김동현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Data production and study of ionization cross section for CxFy fluorocarbons : useful data for plasma modeling

Dhanoj Gupta ,  Heechol Choi ,  Jung-Sik Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Development of a microwave plasma source based on a resonance cavity

S. PARK ,  S. YOUN ,  J.W. YOON 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Characterization of SiO₂ Over Poly-Si Mask Etching in Ar/C₄F₈ Capacitively Coupled Plasma

In Ho Seong ,  Jang Jae Lee ,  Chul Hee Cho 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2021 .11

Derivatization and analysis of the hydrophobic hydrocarbon on the silica nanotube surface

Sun-Mi JIN ,  Ji Yeong SUNG ,  Euh Duck JEONG 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

플라즈마 생활건강(Plasma Life-Health)

최은하

진공이야기

2020 .06

Hydrophobic and Mechanical Characteristics of Hydrogenated Amorphous Carbon Films Synthesized by Linear Ar/CH₄ Microwave Plasma

Moon-Ki Han ,  Taehwan Kim ,  Ju-Hong Cha 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2017 .03

플라즈마 환경에서 세라믹 소재의 위치에 따른 챔버벽 재증착에 관한 연구

소종호 ,  최은미 ,  이승수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Microwave Plasma Source Optimization for Thin Film Deposition Applications

Mahmoud A. I. Elga ,  hy

Applied Science and Convergence Technology

2022 .03

플라즈마 전기적 진단 기술

유신재

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Comparative simulation of microwave probes for plasma density measurement and its application

김대웅 ,  유신재 ,  김시준 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

Plasma 모델링과 시뮬레이션을 위한 웹기반 Plasma Chemistry 데이터베이스

박준형 ,  장원석 ,  최희철 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술

이환희 ,  이태현 ,  권희태 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma surface treatment using dual microwave-excited atmospheric-pressure plasma jets

임대천 ,  최준

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Microwave excited plasma sources using microstrip line

Jaeho KIM ,  Hajime SAKAKITA ,  Hi 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Flow ability improvement of fine ceramic powder using microwave plasma torch at atmospheric pressure.

천세민 ,  박새미 ,  양건우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08