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PCB 기판용 세정 장치 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .10
CMP 후 세정에서 기능수의 효과
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2019 .04
Post-CMP에서 PVA 브러쉬의 구조적 특성과 세정효율의 상관관계
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .04
CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Post-CMP의 다공성 브러쉬의 입자 제거 메커니즘과 고효율 세정을 위한 기공 스케일 미세화
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
세정공정에서 브러쉬 기울기 검출을 위한 진동 신호에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
CMP 를 적용한 패키지 기판의 다층배선 공정개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
비선형 유한요소해석법을 이용한 CMP 멤브레인의 해석적 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
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