주사전자현미경을 이용한 전자선 직접묘사에 관한 연구 ( A Study of Rlectron Beam Direct Writing Lithography Using SRM )

이재성; 홍완희; 노승용; 김성환; 김철주; 정회환; 정관수

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저자정보: 이재성 홍완희 노승용 김성환 김철주 정회환 정관수

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제10권 1호

발행연도: 1987.11

수록면: 426 - 428 (3page)

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