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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 제17권 2호
발행연도
1994.11
수록면
890 - 893 (4page)

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1994

희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향
백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료
희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향 ( The Effect of the sacrificial layers on mechanical properties poly-Si for surface micromachining )
백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명 대한전자공학회 학술대회 1994.11 학술대회자료

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