Micromachining Characteristics of Sacrificial Oxides by Anhydrous HF Gas Phase Etching

W. I. Jang ,  Y. I. Lee ,  C. S. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Surface Micromachining of Polysilicon Gyroscope Structures with Symmetrical Doping and TEOS Sacrificial Oxides

Chang Auck Choi ,  Won Ick Jang ,  Chang Seung Lee 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Silicon Micromachining

M. Esashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향

백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

희생층이 Poly-Si의 기계적 성질에 미치는 영향 ( The Effect of the sacrificial layers on mechanical properties poly-Si for surface micromachining )

백승호 ,  박재홍 ,  김형동 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

희생층에 따른 Poly-Si의 결정성 평가

백승호 ,  박재홍 ,  한영석 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon

Sang Woo Lee ,  Sang Jun Pa ,  k 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Extended Sacrificial Bulk Micromachining Process and Its Application to the Fabrication of X-axis Single-crystalline Silicon Micro-gyroscope

Jongpal Kim ,  Sangjun Pa ,  k 외 7명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Real-time detection of focal position for high precision laser micromachining

Binh Xuan Cao ,  Phuong Hoang ,  Sanghoon Ahn 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

정밀 가공을 위한 레이저 출력 안정화 장치 설계

진석원 ,  박영우 ,  김경한

대한기계학회 춘추학술대회

2012 .11

Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구

고중규 ,  김경석 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

A High-performance X/Y-axis Microaccelerometer Fabricated on SOI Wafer without Footing Using the Sacrificial Bulk Micromachining (SBM) Process

Hyoungho Ko ,  Jongpal Kim ,  Sangjun Pa 외 7명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Silicon Micromachined RF Components : Review

Jong-Gwan Yook

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

Multiple Fabrications of Sacrificial Layers to Enhance the Dimensional Accuracy of Microstructures in Maskless Projection Microstereolithography

In-Baek Pa ,  k ,  Jae-Won Choi 외 2명

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2009 .01

Micromachined Inductors on Silicon Substrates

Hwan Hee. Lee ,  Jae Y. Pa ,  k

대한전자공학회 ISOCC

2005 .10

Three-dimensional hierarchical Li₄Ti₅O₁₂ architecture by a sacrificial template route

Sangbaek Pa ,  k ,  Seung-Deok Seo 외 8명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Demonstration of Robust Micromachined Jet Technology and Its Application to Realistic Flow Control Problems

Sung Pil Chang

Journal of Mechanical Science and Technology

2006 .04

액상에서의 엑시머 레이저 실리콘 미세가공

장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회지

2008 .01

부식과 방식

조홍수

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2012 .06

Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements

김태현 ,  조동일 ,  최해천 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01