지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 12 - 18 (7page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Laser micromachining is a promising technique to fabricate the micro-scale devices. However, there remains important challenges to reducethe redeposition of ablated materials around the laser irradiated zone and to get a smooth surface, especially for metal and semiconductor materials. To achieve the high-quality micromachined devices, various methods have been developed. Liquid-assisted micromachining can be a good solution to overcome the previously mentioned problems. During the laser ablation process, the liquid around the solid sample dramatically changes the ablation characteristics, such as ablation rate, surface profile, formation of debris, and so on. In this investigation, we conducted the laser micromachining of Si in various liquid environmental conditions, such as liquid types, liquid thickness. In addition, using nanoscale time-resolved shadowgraphy technique, we observed the ablation process in liquid environments to understand the mechanism of liquid-assisted laser micromachining.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
액체 보조 엑시머 레이저 미세가공 공정
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2006 .01
-
액체 보조 방식의 Excimer 레이저 폴리머 미세가공
한국레이저가공학회지
2007 .01
-
Silicon Micromachining
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
-
A New Micromachining Technology Using ( 111 ) Silicon
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
-
윤활유로서 이온성 액체를 이용한 가공 품질의 향상 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
-
Micromachining and Cleaning of Silicon by Pulsed Laser Ablation and Plasma Generation
대한기계학회 춘추학술대회
2009 .05
-
정밀 가공을 위한 레이저 출력 안정화 장치 설계
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .11
-
엑시머 레이저를 이용한 3차원 마이크로가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
-
3차원 마이크로 가공을 위한 새로운 접근법
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2001 .11
-
레이저를 이용한 3차원 형상가공에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1997 .11
-
Real-time detection of focal position for high precision laser micromachining
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
Silicon Micromachined RF Components : Review
대한전자공학회 학술대회
1999 .06
-
Micromachining 기술을 이용한 초소형 자기공명센서 구조 연구
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
Micromachined Inductors on Silicon Substrates
대한전자공학회 ISOCC
2005 .10
-
첨단레이저 응용 미세제거가공기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .01
-
펨토초 레이저를 이용한 미세가공에 대한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2014 .04
-
나노초 UV 레이저를 이용한 분말사출 부품의 미세기공
한국레이저가공학회지
2010 .01
-
Demonstration of Robust Micromachined Jet Technology and Its Application to Realistic Flow Control Problems
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
-
Fabrication of Fluid Element Using Silicon Micromachining and Performance Analysis Compared With Measurements
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
-
Performance Characteristics of a Silicon Micromachined Thermal Flow Sensor for Species of Gases
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
2006 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0