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저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구
전기학회논문지
1994 .12
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
Study on removing the defects in LPCVD poly-Si films by two-stage deposition method
ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications
1995 .08
LPCVD로 증착된 WSix/poly-Si막 두께변화에 의한 W-polycide특성
전기학회논문지
1992 .10
LPCVD System
대한전자공학회 단기강좌
1983 .01
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
고온용 압력센서 응용을 위한 in-situ 인(P)-도핑 LPCVD Poly Si 전극
센서학회지
2017 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
특정연구 결과 발표회 논문집
1988 .01
LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )
한국통신학회 학술대회논문집
1988 .01
LPCVD법으로 제작한 이산화 실리콘 막의 전기적 특성 ( The Electrical Properties of Silicon Dioxide Film Fabricated with LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
High temperature poly-Si thin film transistors on a molybdenum substrate
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
증착온도가 LPCVD 실리콘 박막의 물성과 전기적 특성에 미치는 영향
전기학회논문지
1992 .07
LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD Si₃N₄ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2004 .07
Poly-Si의 성장 기구와 제특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1991 .07
Silicide-Enhanced Rapid Thermal Annealing을 이용한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터에의 응용
한국재료학회지
2014 .01
An Experimental Study on the Charge Trapping in Low Temperature LPCVD Oxides
JOURNAL OF KIEE
1988 .09
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