두꺼운 이중층 Co/Ti 막의 실리사이드화에 관한 연구

이병욱 ,  권영재 ,  이종무

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

할로겐 플라즈마에 의한 Ge₂Sb₂Te₅ 식각 데미지 연구

장윤창 ,  유찬영 ,  유상원 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

SF₆/O₂ 플라즈마를 이용한 구리 표면 처리 후 표면 Corrosion 특성 연구

임노민 ,  이준명 ,  이재민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

X-Rays From Laser-Produced Plasmas

남창희

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Etching Mechanism of IGZO Thin Films as the Effect of Inert Gases in CF₄/Ar Plasmas

Young-Hee Joo ,  Jong-Chang Woo ,  Chang-Il Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Run-to-Run Control of Inductively Coupled C2F6 Plasmas Etching of SiO2 : Construction of a Process Simulator with a CFD code

Seung T. Seo ,  Yong H. Lee ,  Kwang S. Lee 외 2명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

Characteristics of Ag Etching using Inductively Coupled Halogen-based Plasmas

Pa ,  k ,  Sang-Duk 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

Inductively coupled plasma reactive ion etching of ZnO using $C_2F_6$ and $BCl_3-based$ gas Plasmas

강동진 ,  이건교 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

Simulation of Silicon Etch Profiles in High Density Plasmas Using a level Set Method

Im ,  Yeon-Ho ,  Pa 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

XPS Analysis of Oxide Etch Polymer in Inductively Coupled High Density Plasmas

Pa ,  k ,  Jae-Hyun 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

$Li_2$형$(Ai, Cr)_3$/Ti기 2상 금속간화합물의 소성거동

박정용 ,  오명훈 ,  위당문

한국재료학회지

1994 .01

X-ray Photoelectron Spectroscopic Study of Ge₂Sb₂Te₅ and Its Etch Characteristics in Fluorine Based Plasmas

전민환 ,  강세구 ,  박종윤 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  장제욱 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

A Novel Trench Etching Process and Analysis of Defect Formation and Residue Deposition

이주욱 ,  김상기 ,  김종대 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Pulse Biased Inductively Coupled Plasmas 를 이용한 Si 과 TiO₂ Nanostructure 식각 특성

신예지 ,  탁현우 ,  오지수 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Three Dimensional Integration of Micro Solution Plasmas for Plasma Electrochemical Material Processing

Tatsu ,  u Shi ,  afuji 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

다결정 Si기판 위에서의 Co/Ti 이중층의 실리사이드화

권영재 ,  이종무 ,  배대록 외 1명

한국재료학회지

1998 .01