Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher

강창진 ,  최창원 ,  민경진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

저온을 이용한 Contact Etching Process 에 대한 연구

황정원 ,  변광욱 ,  양태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

Oxide Etcher

신태호

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석

강정원 ,  이동현 ,  김재정

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

알루미늄 식각을 위한 RIE 장치의 제작 및 성능의 연구 ( A study on the fabrication and performance of RIE mode Aluminium Etching System )

황기웅 ,  김윤택

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

실험계획법에 의한 $CF_4/O_2$ 플라즈마 에칭공정의 최적화에 관한 연구

최만성 ,  김광선

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP-RIE 방법에 의한 Si 식각 특성 개선에 관한 연구

강교성 ,  권순일 ,  양계준 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2007 .07

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  한승수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O/N 플라즈마 건식 식각

김재권 ,  김주형 ,  박연현 외 5명

한국재료학회지

2007 .01

Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher

Jae Hee Ha ,  M. H. Yim ,  J. J. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Dry Etcher 기술개발 동향과 발전

문주태

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

표면자장이 RIE에 미치는 영향 ( The Effects of a Surface Magnetic Field on RIE )

한해욱 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

RIE Damage에 의한 산화지연효과 및 후처리 기술 ( Oxidation Retardation Phenomenon Due to RIE Damage and It`s Post-RIE Treatment )

이원규 ,  구경완 ,  홍봉식

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

Vibration Reduction of Spin Etcher

Rim ,  Kyung-Hwa ,  Lee 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구

강수창 ,  신무환

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si 건식 식각 시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  노호택 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2014 .06

Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis

Wei Qin ,  Jungang Yang ,  Jie Zhang

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Tri-Level Resist Etch in a Magnetically Enhanced Reactive Ion Etcher

Y. S. Seol ,  J. H. Ha ,  C. K. Bok 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

수직형 식각 장비의 노즐 분사 시스템에 대한 연구

김준영 ,  주강우 ,  윤종국 외 2명

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01