Effects of Feed Gas Chemistry on Sf6 Based Tungsten Etching in a Helicon Etcher

정중택 ,  조윤석 ,  오진성 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Self-Aligned Contact Etching using High Density Plasma Etcher

강창진 ,  최창원 ,  민경진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Helicon wave에 의하여 여기된 Ar 플라즈마 특성

김태영 ,  정기형 ,  이승학 외 1명

한국표면공학회지

1994 .12

Helicon Wave Plasma 보조 증발법을 이용한 ZnO/si(111) 박막의 성장과 특성 평가

이두영 ,  박태희 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Fault Detection of Plasma Etchers using Big Data Analysis

Wei Qin ,  Jungang Yang ,  Jie Zhang

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Helicon 고밀도 플라즈마를 이용한 0.5mm 이하의 텅스텐 식각 공정 연구 ( Helicon High Density Plasma Etching for Sub-Half Micron Tungsten Interconnections )

이승욱 ,  최창주 ,  설여송 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Oxide Etcher

신태호

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

박태희 ,  김경보 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Characteristics of High Aspect Ratio Small Contact Etching in RIE Etcher

정상섭 ,  신철호 ,  민경진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

C₄F₈/H₂ helicon wave 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식각된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관한 연구

김현수 ,  이원정 ,  백종태 외 1명

한국표면공학회지

1998 .04

Etch Simulator 개발을 위한 High Density Oxide Etcher 식각 특성 분석

강정원 ,  이동현 ,  김재정

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

A Study on the Plasma Etching of Ru Electrodes using O2/Cl2 Helicon Discharges

HyounWooKim ,  WoonSukHwang

Corrosion Science and Technology

2003 .01

ICP Poly Etcher를 이용한 Poly-Si Dry Etch시 Gas Flow에 따른 Etching 특성 변화 연구

김동일 ,  한승수

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Dry Etcher 기술개발 동향과 발전

문주태

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택 산화막 식각 ( A High Selectivity Oxide Etching with a Helicon Plasma )

김윤택 ,  김정훈 ,  김진성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Effect of the Fluorine Treatment for the Reduction of Al ( Cu 1% ) Corrosion After Plasma Etching

김창일 ,  권광호 ,  윤선진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

플라즈마 식각장치내 노즐의 위치에 따른 희박기체유동 및 알루미늄 식각률의 변화에 관한 연구

황영규 ,  허중식

대한기계학회 논문집 B권

2002 .10

Vibration Reduction of Spin Etcher

Rim ,  Kyung-Hwa ,  Lee 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01