Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

박태희 ,  김경보 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Helicon Wave Plasma 보조 증발법을 이용한 ZnO/si(111) 박막의 성장과 특성 평가

이두영 ,  박태희 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Helicon 고밀도 플라즈마를 이용한 0.5mm 이하의 텅스텐 식각 공정 연구 ( Helicon High Density Plasma Etching for Sub-Half Micron Tungsten Interconnections )

이승욱 ,  최창주 ,  설여송 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher

Jae Hee Ha ,  M. H. Yim ,  J. J. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

C₄F₈/H₂ helicon wave 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식각된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관한 연구

김현수 ,  이원정 ,  백종태 외 1명

한국표면공학회지

1998 .04

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

On the mechanism of power distribution in multiple ICP and Helicon sources

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  H.Y. Chang

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

헬리콘 플라즈마원의 특성

현준원 ,  노승정 ,  김경례 외 2명

한국표면공학회지

1999 .12

Etching Characteristics and Mechanism of Low Temperature Deposited Silicon Nitride Film Using Inductively Coupled CH₂F₂/O₂/Ar Plasma

Jinyoung Son ,  Junmyung Lee ,  Inwoo Chun 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

헬리콘 플라즈마 원을 이용한 우주 추진체의 특성

최근식 ,  우현종 ,  정규선 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택 산화막 식각 ( A High Selectivity Oxide Etching with a Helicon Plasma )

김윤택 ,  김정훈 ,  김진성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Carbon Nanotube Deposition using Helicon Plasma CVD at Low Temperature

Mu ,  oyama ,  Masakazu 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

지하수 조사에서 환경추적자로서의 $SF_6$의 적용

고동찬 ,  김용제

한국지하수토양환경학회 학술발표회

2003 .01

헬리콘 플라즈마 물성특성 및 식각응용에 관한 연구

이병일 ,  도현호 ,  양일동 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Epitaxial Growth of GaN by HWP ( Helicon Wave Plasma ) Assisted Metal-Organic CVD ( Chemical Vapor Deposition ) Process

Ki Sung Kim ,  Chan Wook Chun ,  Seon Hyo Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

F₂/Ar과 F₂/Ar/N₂ 리모트 플라즈마 산화막 식각에 대한 NO를 첨가효과

윤영배 ,  김덕진 ,  이내응 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Synthesis of Poly(arylene ether amine)s through Nucleophilic Aromatic Substitution Reaction (S_NAr)

이몽섭 ,  김윤준 ,  서명은 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .04

Ar, Ar/O₂ 플라즈마로 처리된 폴리카보네이트에의 금속박막의 부착력

배길상 ,  김상호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

cubic BN:C 박막의 합성 및 밀찰력 증대에 관한 연구

김경보 ,  김기성 ,  김선효

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01