헬리콘 플라즈마원의 특성

현준원 ,  노승정 ,  김경례 외 2명

한국표면공학회지

1999 .12

헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택 산화막 식각 ( A High Selectivity Oxide Etching with a Helicon Plasma )

김윤택 ,  김정훈 ,  김진성 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

헬리콘 플라즈마 물성특성 및 식각응용에 관한 연구

이병일 ,  도현호 ,  양일동 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Helicon wave에 의하여 여기된 Ar 플라즈마 특성

김태영 ,  정기형 ,  이승학 외 1명

한국표면공학회지

1994 .12

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

현준원 ,  김경례 ,  김용진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

박태희 ,  김경보 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

고선택비 산화막 식각공정시 C₄F₈ 헬리콘 웨이브 플라즈마에 노출된 실리콘 표면의 잔류막 관찰

김현수 ,  이원정 ,  염근영

한국표면공학회지

1999 .04

Helicon 고밀도 플라즈마를 이용한 0.5mm 이하의 텅스텐 식각 공정 연구 ( Helicon High Density Plasma Etching for Sub-Half Micron Tungsten Interconnections )

이승욱 ,  최창주 ,  설여송 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Helicon Wave Plasma 보조 증발법을 이용한 ZnO/si(111) 박막의 성장과 특성 평가

이두영 ,  박태희 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

On the mechanism of power distribution in multiple ICP and Helicon sources

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  H.Y. Chang

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

SNU안테나에 의한 헬리콘 플라즈마의 SiO2 식각 특성 연구

이병일 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

C₄F₈/H₂ helicon wave 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식각된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관한 연구

김현수 ,  이원정 ,  백종태 외 1명

한국표면공학회지

1998 .04

Carbon Nanotube Deposition using Helicon Plasma CVD at Low Temperature

Mu ,  oyama ,  Masakazu 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

우주탐사 탑재체 보정을 위한 플라즈마 발생장치의 개발 및 초기 운용 결과

유광선 ,  차원호 ,  신구환 외 3명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher

Jae Hee Ha ,  M. H. Yim ,  J. J. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

우주통신에 있어서의 plasma의 응용

Schlesinge ,  S.P.

전기의세계

1964 .09

On-orbit Thermal Behavior of KOMPSAT Liquid-Monopropellant Hydrazine(N₂H₄) Propulsion System

김정수 ,  최환석 ,  한조영

한국추진공학회 학술대회논문집

2000 .04

우주 추진에서의 펄스 에너지 이용

최수진 ,  A ,  dian B. Gojani 외 1명

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2009 .04