Growth of GaN on ( 0001 ) Sapphire Substrates by Remote Plasma-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

손철수 ,  김민홍 ,  이재형 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Carbon Nanotube Deposition using Helicon Plasma CVD at Low Temperature

Mu ,  oyama ,  Masakazu 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF GaN USING a REMOTE PLASMA ENHANCEMENT

Choi ,  Sung-Woo ,  Cho 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Helicon Wave Plasma 보조 증발법을 이용한 ZnO/si(111) 박막의 성장과 특성 평가

이두영 ,  박태희 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Electrical Properties in Si-Doped GaN by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

Sam Kyu Noh ,  Cheul Ro Lee ,  In Hwan Lee 외 4명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

박태희 ,  김경보 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Helicon wave에 의하여 여기된 Ar 플라즈마 특성

김태영 ,  정기형 ,  이승학 외 1명

한국표면공학회지

1994 .12

[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

승화법에 의한 GaN의 기상에피텍시 성장

김선태 ,  문동찬

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Highly repaired graphene oxide through nickel assisted chemical vapor deposition (CVD)

김경환 ,  양민호 ,  조경민 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

헬리콘 플라즈마 CVD법에 의한 다이아몬드 박막의 특성

현준원 ,  김경례 ,  김용진 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

Single Source Chemical Vapor Deposition of Epitaxial silicon Carbide Films

Kyung Won Lee ,  Kyu Sang Yu ,  Yun Soo Kim

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

GaN 에피택셜 층의 열처리 효과

하민우 ,  석오균 ,  안우진 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .11

액체수송 유기금속 화학증착법 (LDS-MOCVD)에 의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 저온 ($450^{\circ}C$-$500^{\circ}C$) 증착 및 특성분석

정시화 ,  김혜령 ,  조금석 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

GaN 소자 패키지의 방열효율 향상을 위한 해석적 연구

김민재 ,  김준 ,  이창훈

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

플라즈마 화학증착법의 발전과 응용 ( Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process )

김선규

대한용접·접합학회지

1997 .10

Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher

Jae Hee Ha ,  M. H. Yim ,  J. J. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Long Multi-walled Carbon Nanotubes Grown by Water-assisted Thermal Chemical Vapor Deposition

Hong Jun Jeon ,  Young Rae Kim ,  Nae Sung Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

고출력증폭기 온도측정결과를 활용한 GaN 소자의 온도 예측

김민재 ,  정의봉 ,  김준 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12