Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Process optimization of silicon growth in a planetary CVD reactor using CFD-RSM combined method

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .12

Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석

장연호 ,  고동국 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Study on the Coupled Effects of Process Parameters on Silicon Growth Using Chemical Vapor Deposition

Ramadan ,  Zahe ,  Ko 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

화학기상증착 코팅로의 용량에 따른 탄소 코팅 SiO_x의 물리적 특성 변화 분석

맹석주 ,  곽우진 ,  박헌수 외 2명

한국표면공학회지

2022 .12

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Study of Cooling Rate on the Growth of Graphene via Chemical Vapor Deposition

서지형 ,  이정현 ,  장아랑 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

Substrate Temperature Dependence of Microcrystalline Silicon Thin Films by Combinatorial CVD Deposition

Yeonwon Kim

한국표면공학회지

2015 .06

Parametric study of the process parameters on the Si epitaxial growth

Imama Zaidi ,  Dong Guk Ko ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

그래핀 CVD 내 열기류 및 화학반응 해석

성기운 ,  정현재 ,  김은화 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

그래핀 CVD 내 열기류 및 화학반응 해석

성기운 ,  김은화 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

CVD 응용 탄소막 코팅을 통한 표면에너지 제어와 이종 소재 간 흡착/혼합성 향상 연구

온민석 ,  김회민 ,  소민서 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

초청합니다

박노철 ,  왕세명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2017 .10

초청합니다

곽문규 ,  최승복

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .04

초청합니다

곽문규 ,  최승복

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .10

초청합니다

곽문규 ,  박상규

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2015 .10

초청합니다

곽문규 ,  김흥식

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .10

초청합니다

곽문규 ,  김흥식

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2018 .04

Numerical Study on Flow and Heat Transfer in a CVD Reactor with Multiple Wafers

Jang ,  Yeon-Ho ,  Ko 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

반도체 CVD공정의 액체 precursor 배관 simulation에 관한 연구

정대창 ,  김태성

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .10