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이용수
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 소자구조 및 공정설계
Ⅲ. 공정/소자 시뮬레이션 및 분석
Ⅳ. 결론
참고문헌
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새로운 구조의 고속-고내압 SOI Smart Power 소자 설계에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1999 .06
수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2000 .11
APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY
한국표면공학회지
1996 .10
Ground Plane SOI MOSFET의 단채널 현상 개선
전자공학회논문지-SD
2004 .04
SOI 소자를 위한 공정 기초연구
대한전자공학회 워크샵
1990 .01
Back-bias 효과에 의한 SOI소자의 항복전압 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
1993 .11
SOI 기술의 연구동향
전자공학회지
1987 .08
박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )
대한전자공학회 학술대회
1993 .11
SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조
한국재료학회지
2005 .01
활성 바디 바이어스를 이용한 고속, 저전력 SOI 인버터
전자공학회논문지-D
1998 .12
SOI MOS 소자의 제조 ( The Fabrication of SOI MOS device )
대한전자공학회 학술대회
1989 .11
A New SOI inverter Gate for Low Power Applications
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
소규모의 SOI MOSFET의 문턱 전압에 관한 연구 ( A Study on the Threshold Voltage of Small SOI MOSFET )
대한전자공학회 학술대회
1992 .01
수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
실리콘 직접 접합을 위한 선형가열법의 개발 및 SOI 기판에의 적용
한국표면공학회지
2000 .04
SOI(Silicon-on-Insulator) 소자에서 후면 Bias에 대한 전기적 특성의 의존성
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
SOI MOSFET의 단채널 효과를 고려한 문턱전압과 I-V 특성 연구 ( A Study on Threshold Voltage and I-V Characteristics by Considering the Short-Channel Effect of SOI MOSFET )
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
산소이온주입으로 제조된 SOI박막의 전기적 특성 ( Electrical Characteristics of SOI Films Formed by Oxygen Implantation )
전자공학회논문지
1987 .03
SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
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