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자료유형
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한국안광학회 한국안광학회지 한국안광학회지 제2권 제1호
발행연도
1997.12
수록면
103 - 110 (8page)

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This work presents experimental results on the electrical properties of hydrogenated amorphous carbon films(a-C : H) prepared by PECVD. Conductance of a-C : H was measured as a function of temperatures in the range of 100 to 423K. We studied two a -C : H films : one was well explanied by the Mott`s variable range hopping(VRH) rule. But the other sample did not follow it. The conduction data of second sample were well fitted to Shimakawa`s multi-phonon hopping(MPH) model according to which conductivity is proportional to Tm with m=15∼17. But, in our samples, m was 10∼12.

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