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김효준 (유비전) 김준식 (호서대학교) 주효남 (호서대학교)
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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제22권 제1호
발행연도
2016.1
수록면
59 - 65 (7page)

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As modern electronic devices get smaller and smaller, high-resolution, large Field-Of-View (FOV), fast, and cost-effective 3-dimensional (3-D) measurement is requested more and more. In particular, defect inspection machines using machine-vision technology nowadays require 3-D inspection as well as the conventional 2-D inspection. Phase Measuring Profilometry (PMP) is one of the fast non-contact 3-D shape measuring methods currently being extensively investigated in the electronic component manufacturing industry. The PMP system is well known and is successfully applied to measuring complex surface profiles with varying reflectance properties. However, for highly reflective surfaces, such as Ball Grid Arrays (BGAs), it has difficulty accurately measuring 3-D shapes. In this paper, we propose a new fast optical system that can eliminate the highly reflective saturated regions in BGA ball images. This is achieved by utilizing four Low Intensity Grating (LIG) images together with the conventional High Intensity Grating (HIG) images. Extensive experiments using BGA samples show a repeatability of under ±20um in standard deviation, which is suitable for most 3-D shape measurements of BGAs.
#PMP #3-dimensional measurement #BGA ball #non-contact measurement

목차

Abstract
I. 서론
II. PMP (Phase Measuring Profilometry)
III. 제안한 시스템
IV. 실험 및 결과
V. 결론
REFERENCES

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
W. Y. Choi and R.-H. Park, “Stereo vision and application,” Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea, vol. 10, 12B, pp. 36-38, 1994. google schola T.-H. Cho and D.-S. Jang, “High speed 3D measurement of BGA (Ball Grif Array),” Proc. of The Korean Institute of Information Scientists and Engineer 28 th Fall Conference, vol. 28, no. 2, pp. 481-483, 2001. google schola W.-J. Ryu, Y.-J. Kang, H.-M. Rho, and D.-H. Lee, “A study on 3-D shape measurement and application by using digital projection moire(II),” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, vol. 24, no. 5, pp. 62-67, 2007. google schola Q. Zhang, X. Su, Y. Cao, Y. Li, L. Xiang, and W. Chen, “Optical 3-D shape and deformation measurement of rotating blades using stroboscopic structured illumination,” Optical Engineering, vol. 44, no. 11, pp. 113601-113601, 2005. google schola Zhang, Qican, and S. Xianyu, “High-speed optical measurement for the drumhead vibration,” Optics express, vol. 13, no. 8, pp. 3110-3116, 2005. google schola

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