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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
강석일 (Seoul National University of Science & Technology) 김정한 (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.25 No.1
발행연도
2016.2
수록면
75 - 82 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

초정밀 듀얼 스테이지를 위한 고댐핑 저진동 제어기 개발
강석일 ,  김정한 한국생산제조학회지 2016.02 학술저널

2015

초정밀 듀얼 스테이지에서의 저진동 제어기 개발
강석일 ,  김정한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

초록· 키워드

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In this study, a cross-damped low vibration controller was developed to reduce vibration in ultra-precision dual stage driven by master/slave principle. In master-slave structure, the master stage leads the driving motion and the slave stage follows it so as to maintain a constant gap between two stages. In this structure, a small perturbation of master stage makes big oscillations in slave servoing stage, so a low damped master stage composed of voice coil motor makes a long vibration in settling area after driving motion profile. In this research, an effective feedback damping algorithm for increase the damping characteristics of the dual stage was developed. The designed velocity damping algorithm improves the system stability and reduces the settling time of the whole system. Simulation and experimental results show that the developed algorithm reduces settling time and improves the regulating performance.
#Dual stage #Low vibration #Velocity loop #Damping control #Master-slave

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 듀얼 스테이지 시스템 구조
3. 고댐핑 저진동 제어기 설계
4. 실험 결과
5. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Elfizy, A. T., Bone, G. M., Elbestawi, M. A., 2005, Design and Control of a Dual-stage Feed Drive, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 45:2 153-165. google schola Kwon, S. J., Chung, W. K., Youm, Y. I., 2001, On the Coarse/Fine Dual-Stage Manipulators with Robust Perturbation Compensator, IEEE International Conference on Robotics and Automation, 1 121-126. google schola Yang, H. M., Chung, B. M., Ko, T. J., Lee, C., Park, J. K., 2009, Machining Characteristics of Milling Machine Using Dual-stage, Proceeding of the Spring Conference on the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, 20-25. google schola Lee, C., 2008, A Study on Improving Cutting Precision of the Micro Milling Machine by using the Dual-stage Feed Drive, A Thesis for a Master, Youngnam University, Republic of Korea. google schola Staroselsky, S., Stelson, K. A., 1988, Two-stage Actuation for Improved Accuracy of Contouring, American Control Conference, 127-132. google schola

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