반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성 조사를 위한 컴팩트 열모델

원문충; 김경준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 원문충 (부경대학교) 김경준 (부경대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 신뢰성부문 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.4

수록면: 93 - 93 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성 조사를 위한 컴팩트 열모델

원문충 , 김경준 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

수치적으로 연구된 반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성에 대한 매개변수 영향

원문충 , 김경준 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

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원문충

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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김경준

소속기관 부경대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학

논문수 75 이용수 4,469

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