Selective atomic layer deposition of AL2O3 onto monolayer graphene

김장헌; 김수현; 정원석

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김장헌 (KAIST) 김수현 (KAIST) 정원석 (원광대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2016년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2016.5

수록면: 28 - 28 (1page)

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