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반도체 제조공정 배가스 처리기술
공기청정기술
2001 .01
반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1996 .10
반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
대한기계학회지
1993 .02
전기 화학적 산화공정을 이용한 암모니아성 질소제거와 거동
대한환경공학회 학술발표논문집
2007 .12
반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2001 .11
반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘
제어로봇시스템학회 논문지
1998 .12
산 첨착활성탄과 동적막 공정을 이용한 수중 암모니아 제거
공업화학
2006 .01
반도체 제조공정에서의 입자제어
기계저널
2012 .05
반도체 디바이스 제조 공정에서의 전기화학적 현상
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
반도체 제조공정의 효율적 생산관리를 위한 시뮬레이터 개발
산업공학 (IE interfaces)
1995 .11
반도체공정에서 사용되는 재료가스의 역할과 가스공급시스템
한국가스학회 학술대회논문집
1997 .09
반도체 제조공정의 자동화 기술 동향
전자공학회지
1987 .08
반도체 가스 검지소자의 제조 및 그의 전기적 특성 ( Fabrication of Semiconductor Gas Sensors and their Electrical Characteristics )
전자공학회지
1978 .10
반도체용 화학재료 및 패턴형성 공정
고분자 과학과 기술
1996 .12
암모니아 표준가스 안정도 연구
한국가스학회 학술대회논문집
2017 .05
반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용
공기청정기술
2006 .01
생물학적 활성탄 여과탑에서 암모니아성 질소 제거에 관하여
대한환경공학회지
1984 .12
정수처리에서 암모니아제거를 위한 제올라이트공정의 연구
대한환경공학회 학술발표논문집
1999 .04
암모니아 탈기공정을 이용한 침출수의 암모니아성 질소제거 (2)
대한환경공학회지
2002 .02
암모니아 탈기공정을 이용한 침출수의 암모니아성 질소제거 (1)
대한환경공학회지
2000 .10
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