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반도체 제조공정에서의 환경제어 기술
대한기계학회지
1993 .02
반도체 제조공정의 자동화 기술 동향
전자공학회지
1987 .08
반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술
[ETRI] 전자통신동향분석
1988 .03
반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
1996 .10
반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용
공기청정기술
2006 .01
반도체 제조공정의 오염제어기술 및 사례
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
1993 .11
연소식 배가스 처리기술
공기청정기술
2001 .01
반도체 제조공정에서의 입자제어
기계저널
2012 .05
반도체 제조공정의 조립자동화 기술
전기의세계
1990 .06
반도체 가스 센서
대한전자공학회 단기강좌
1988 .01
반도체 공정가스내 입자 측정 및 감소 방법
공기청정기술
1990 .01
반도체 기술
전자공학회지
1987 .04
반도체 기술
정보화사회
1989 .01
반도체용 가스의 위험성 평가
방재기술
1989 .01
데이터 기반의 핵심 반도체 제조 공정 선정에 관한 연구
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2017 .11
반도체 공정 가스에 따른 가스의 초고순도화
[ETRI] 전자통신동향분석
1988 .06
최신 반도체 공정기술
전자공학회지
2015 .01
반도체에 관하여
전자공학회지
1965 .07
반도체 소자 제조 기술 동향
전자공학회지
2015 .01
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