반도체 제조공정에서의 입자제어

정재인

기계저널

2012 .05

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

반도체 가스 센서

이덕동

대한전자공학회 단기강좌

1988 .01

반도체용 가스의 위험성 평가

이형섭

방재기술

1989 .01

반도체 공정 가스에 따른 가스의 초고순도화

진영모 ,  현영철

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .06

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

반도체 공정자동화 사례분석

허충호

[ETRI] 전자통신동향분석

1987 .06

레이저를 이용한 반도체공정

최웅림 ,  구자강 ,  권오대

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

이용일 ,  배남진

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .03

반도체 공정 overview

서정헌

전자공학회지

2001 .08

반도체용 특수가스의 현황과 전망

孫武龍 ,  朴斗善 ,  韓周澤

가스산업과 기술

1998 .07

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구

신용호 ,  서정원 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

최신 반도체 공정기술

김도영

전자공학회지

2015 .01

반도체 가스의 방화 관리

이상곤

한국화재소방학회 심포지움 및 세미나

1994 .01

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

반도체공정제어 현황 및 발전방향

엄민용

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

'91년도 반도체산업의 전망과 대응

김주범

전자진흥

1991 .01