메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제3권 제1호
발행연도
1999.7
수록면
109 - 117 (9page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

급속 열처리 공정을 위한 Bang-Bang/PID 온도제어기법
송태승 ,  류쥰 전기전자학회논문지 1999.07 학술저널

1998

급속 열처리 공정용 Bang-Bang/PID 온도 제어기 개발
송태승 ,  김병문 ,  유준 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 1998.10 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
본 논문에서는 급속 열처리 공정에서 필수적인 빠르고 정밀한 웨이퍼의 온도제어기법을 제안하였다. Bang- Bang/PID 제어기법은 빠른 온도상승률을 만족하고, 오버슈트와 정상상태 오차를 줄이도록 한다. 즉 초기에 허용 가능한 최대전력을 공급하는 일종의 Bang-Bang 방식의 제어를 하고, 설정온도와 출력에서 측정되는 온도와의 차이가 어느 정해진 범위보다 작을 때 PID 제어를 수행한다. 또한 PID 이득을 정하기 위해 ARX 모델로 식별된 플랜트에 Kappa-Tau 동조법이 사용되었다. 개발된 제어기는 실험용 RTP 장비에 적용하여 그 성능을 평가하였다.
#급속열처리공정 #온도제어 #Bang-Bang PID #bang-bang plus PID control #Kappa-Tau tuning #RTP #system identification #temperature control

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

COVID-19 팬데믹에 따른 이산화탄소 배출 및 블루카본 흡수량 영향
권인하 ,  이종민 ,  송현서 외 3명 한국해양환경·에너지학회지 2023 .02
잡음에 강건한 웨이블릿 변환 기반의 Autoencoder with Long Short Term Memory-Neural Network PID 제어
유재진 ,  백준걸 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2020 .11
Dead zone 보상기 기반 PID 제어를 이용한 3D printing 건축용 케이블 로봇 시스템 위치 제어
박치홍 ,  이창환 ,  김성훈 외 1명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2019 .05
Matlab을 활용한 무인비행체의 PID제어 시뮬레이터 개발
김영백 ,  박인철 ,  김자유 외 2명 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2016 .01

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-056-001402145