Atomic layer deposition of high-k dielectrics on graphene through controlled Ar⁺ Ion beam process

You Jin JI ,  Ki Seok KIM ,  Ki Hyun KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Reactions between silicon precursors and surface sites during atomic layer deposition of silicon nitride

Luchana L. YUSUP ,  Jae-Min PARK ,  Ti 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Boron Detection Technique in Silicon Thin Film Using Dynamic Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry

M. Abul Hossion ,  B ,  ij M. A 외 2명

Mass Spectrometry Letters

2021 .03

High density micro ion beam by plasma ion source

Masaki SUGAWARA ,  Ha ,  uo KASAHARA 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

In-situ heating TEM을 활용한 Ni/6H-SiC의 저온(550 ℃) 반응 및 탄소 거동 분석

권예나 ,  오진수 ,  백승문 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

The schottky contact characteristics of atomic layer deposited ruthenium silicide with post annealing

Seung Chan HEO ,  Donghwan LIM ,  Young Jin KIM 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Surface and optical property analysis of ion-beam irradiated PFA films with metal deposition

Songhwa Chae ,  Nghia Dinh Huynh ,  Dukhyun Choi

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Damages in thin silicon substrate prepared using ion-cut method

석재권 ,  김형권 ,  김혜연 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

이온교환수지와 NH₄OH 침전법을 이용한 Alumina 산 분해물의 Al 매질제거와 미량원소 성분 (Ca, Cu, Fe, Ga, Si)의 회수율측정

한명섭 ,  서정기

한국분석과학회 학술대회

2015 .11

Standard development of the test method for determination of metal impurities in silicon dioxide powders using ICP-OES

Jin Sook Lee ,  Hyun A Lee ,  Se-mi Lee

한국분석과학회 학술대회

2022 .05

Fundamental Study of Impurity Depth Profile by Secondary Ion Mass Spectrometer

Mi ,  ang Byeon ,  Ga Yun Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2021 .02

PbWO₄:Mn 단결정 내의 Mn²⁺ 상자성 불순물 공명 중심에 대한 연구

염태호

새물리

2019 .10

Modification of electronic properties of graphene by using low-energy K⁺ ions

Jingul KIM ,  Paeng ,  o LEE 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Quantification of impurities in silicon oxide by radio frequency glow discharge mass spectrometer

양재열 ,  윤재식

한국분석과학회 학술대회

2019 .11

Linear Ion Beam Applications for Roll-to-Roll Metal Thin Film Coatings on PET Substrates

Seunghun Lee ,  Do-Geun Kim

Applied Science and Convergence Technology

2015 .09

VHF-PECVD for a-Si:H and a-SiN:H Film Deposition

Jin Seok Kim

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

Ion beam figuring with focused anode layer thruster

Oleksii Gi ,  ka ,  Soo Ouk Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

A Study on Impurity Depth Profile by Secondary Ion Mass Spectrometer

Mi ,  ang Byoen ,  Da Yung Kim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Silicon Nanocrystals Synthesized from Silicon Tetrachloride Using Electron Beam Reduction Reaction

Don-Sung Lee ,  Hyun Suk Kang ,  Ye-Seul Koh 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Study of ion beam shaping of an anode-type ion source coupled with a

Whenelt mask ,  Yunsung Huh ,  Yunseok Hwang 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2018 .07