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저자정보
최재영 (단국대학교) 박현수 (단국대학교) 손민규 (와이엠씨) 정창오 (와이엠씨) 김우병 (단국대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제49권 제6호
발행연도
2016.12
수록면
567 - 574 (8page)

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We have analyzed chemical properties of polysiloxane and polysilazane films, respectively, as sealing materials for electrostatic chuck (ESC) and have investigated the possibility of polysilazane as an alternative sealant to polysiloxane. It has been revealed that Si-O with organic bonding (Si-CH₃) existed in polysiloxane films compared to only pure Si-O bonding in polysilazane films. The sealing property of polysilazane has been found outstanding even in a short time of application. In the polysiloxane films containing H₂O, pin holes have been found possibly due to CO₂ gas evolution, and low adhesion with Si substrate has been observed after heat stress test in connection with the existence of organic bonding. After acid resistance test in 0.5 vol.% HF, 68 wt.% HNO₃, and 37 wt.% HCl solution, polyilazane films have shown a longer survival times. Compared to the conventional polysiloxane sealant, polysilazane is expected as a new sealing material because of good thermal and chemical stability.
#Electrostatic chuck #Polysiloxane #Polysilazane #Sealing material

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
Reference

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - T. Watanabe / 1992 / Effect of additives on the electrostatic force of alumina electrostatic chucks / J. Ceramic Soc. Jpn. 100 (1) : 1 ~ 6 google schola [학술지(정기간행물)] - L. D. Hartsough / 1993 / Electrostatic Wafer Holding / Solid state Tech 36 (1) : 87 ~ 91 google schola [학술지(정기간행물)] - S. A. Khomyakov / 1979 / Attraction and Accuracy Characteristics of Electrostatic Chucks / Machines and Tooling 50 : 22 ~ 24 google schola [기타자료] - The Institute of Electrostatics Japan / 1981 / Hand Book of Electrostatics : 672 ~ 675 google schola [학술대회논문] - J. Yoo / 2007 / / Proceedings of International Conference on Electrical Machines and Systems google schola

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