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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
엄명헌 (국립공주대학교) 이종집 (국립공주대학교) 하범용 (영진전문대학)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제22권 제4호
발행연도
2016.12
수록면
274 - 280 (7page)

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본 연구에서는 태양광용 웨이퍼를 제조하는 과정에서 발생하는 실리콘 폐슬러지의 함유물질 중 공정원가의 25% 가량을 차지하고 있는 절삭유를 화학적으로 재생하기 위한 방법을 개발하고자 하였다. 이를 위해 아세톤, HCl, NaOH, KOH, Na2CO3, 불산, 염화메틸렌 등 7종류의 시약이 이용되었으며 다양한 농도로 폐슬러지와 반응을 실시하고 3000 rpm의 속도로 60분간 원심분리를 수행하였다. 그 결과, 실리콘분말 및 금속분말과 같은 고형물과 액상의 절삭유를 분리하기 위한 최적 시약 및 조건이 0.3 N NaOH로 확인되었다. 시판되는 절삭유의 약산성 특성에 맞게 pH 조절이 요구되어 금속분말 제거에 효과적인 0.1 N HCl과 폐슬러지를 먼저 반응시킨 후 0.3 N NaOH로 후처리 한 재생 절삭유의 pH가 6.05로 나타났으며 0.3 N NaOH 단독으로 폐슬러지에 적용하였을 때 보다 우수한 탁도를 나타내었다. 시판용 절삭유와의 특성을 비교하고자 FT-IR 분석을 실시한 결과, 재생유로서의 가능성이 확인되었으며 실험을 통하여 얻어진 절삭유 회수율은 86.9%로 나타났다.
#실리콘 폐슬러지 #절삭유 #재생 #태양광 웨이퍼 #Silicon waste sludge #Cutting oil #Recycling #Solar wafer

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (7)

참고문헌 신청
김종영 / 2011 / Wafer Sawing 공정의 폐슬러리로부터 금속 실리콘 회수에 관한 연구 / 한국세라믹학회지 48(2):189~194 google schola 장희동 / 2007 / 廢실리콘슬러지로부터 TMOS 및 실리카 나노粉末 製造 / 자원리싸이클링 16(5):41~45 google schola Park, K. / 2008 / Apparatus and Recycling Method of Silicon Sludge Waste / Korea Patent, No. 10-0837346 google schola 정구진 / 2010 / 실리콘 슬러지로부터 리튬電池 陰極用 Si-SiC-CuO-C 복합물의 合成 / 자원리싸이클링 19(4):51~57 google schola Heo, M. S. / 2010 / Method of Waste Silicon Slurry / Korea Patent No. 10-0948612 google schola

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