멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

롤투롤 연속공정 기반 다층-멀티 슬릿 구조의 공간분할형 원자층 증착 헤드 개발

이재욱 ,  김경환 ,  강인석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05