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김현범 (제주대학교) 이재욱 (제주대학교) 양성욱 (제주대학교) 오승호 (제주대학교) 최경현 (제주대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2017.4
수록면
26 - 26 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

저온.상압 공정 기반 멀티 슬릿 구조의 원자층 증착 헤드 개발에 관한 연구
김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2017.04 학술대회자료
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2017.04 학술대회자료

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#Atomic Layer Deposition #Spatial ALD #Encapsulation

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김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2016 .12
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015 .05
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