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박막공정 개선을 위한 ALD Chamber 의 Showerhead 구조 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
지속가능한 반도체 ALD 공정챔버의 가스유동장 수치해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2023 .06
반도체 ALD 공정챔버의 마이크로 공정갭 가스유동장 설계
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2024 .06
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .06
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .07
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상
전기전자재료학회논문지
2016 .01
[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법
전자기술
2023 .04
ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .06
분말 코팅을 위한 원자층 증착법
한국분말야금학회지
2019 .01
High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .12
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