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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.10
- 수록면
- 545 - 550 (6page)
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The new cylindrical magnetic levitation stage is presented in this paper. This stage can move the cylinder to rotations and translations as well as magnetic levitations with high precision. This stage can be rotated with 360°and can be moved to translational directions within few millimeters. A Lead-PI control algorithm is used for the position control and a PI control algorithm is used for the current control. A system identification method from input and output experimental data is used for 2nd-order State-space dynamic modeling. Parameters of Lead-PI control is decided properly with this model. The new cylindrical mag-lev stage is experimented with in-positioning and rotations with nano-scale precisions.
목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. Cylindrical Mag-Lev Stage
3. Control Strategic
4. EXPERIMENTS
5. CONCLUSIONS
REFERENCES
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