메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박창섭 (삼성전자) 김찬오 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제67권 제3호
발행연도
2018.3
수록면
474 - 478 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

반도체 공정에서 발생하는 혼합분진의 폭발 위험성평가
박창섭 ,  김찬오 전기학회논문지 2018.03 학술저널
반도체 공정에서 발생된 티타늄 혼합 금속분진 폭발특성 및 위험성평가에 관한 연구
박창섭 학과 2018.01 학위논문

초록· 키워드

오류제보하기
The use of metals such as aluminum and titanium and the related industrial facilities have been continuously increasing to meet the requirements of the improvement of high-tech products due to the development of industry, and explosion of metal dust. Semiconductor process Metal dust is essential, but research is insufficient. The purpose of this study is to identify risk by analyzing the quantitative risk such as maximum explosion pressure and minimum explosion concentration applied international test standard in order to select the semiconductor process facilities handling dust and to predict possible risk of accidents.
#Combustible dust #Semiconductor manufacturing #Dust collector #Minimum explosion concentration #Maximum explosion pressure #Maximum explosion pressure rate

목차

Abstract
1. 서론
2. 반도체 공정 설비의 분진 위험성
3. 연구방법
4. 연구결과
5. 고찰 및 결론
References

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
Van der, P. and Wel, “Ignition and Propagation of Dust Explosions”, Delft Univ. Press, pp. 152-157, 1993. Seop Woo Han, “Research Trend of Dust Explosion Hazard in Industrial Sites”, Korea Occupational Safety & Health Agency, vol. 12, pp. 20-25, August 2008. Eckhoff, R. K., “Dust explosions in the Process Industries-3rd ed.”, Gulf Professional Publishing, pp. 199-250, 2003. Seung Hyun Kim, Jeong Ah Shin, Hae Dong Park, “Exposure Possibility to By-products during the Processes of Semiconductor Manufacture”, Korean Industrial Hygiene Association, vol. 22, no. 1, pp. 52-59, April 2012. NFPA 652, “Standard on the Fundamentals of Combustible Dust”, pp. 6-9, 2016 edition.

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

반도체 공정 PFCs 가스 처리를 위한 열플라즈마 스크러버 개발
황상연 ,  엄성현 ,  차우병 한국에너지기후변화학회 학술대회 2019 .11
사적 자치의 원칙의 헌법적 · 민사법적 의의 : 헌재 결정례와 대법원 판례의 비교 · 분석을 중심으로
김동훈 법학논총 2018 .02
사회서비스 품질 측정모형 개발 : 공익형 노인일자리를 중심으로
천재영 ,  최영 한국사회복지행정학 2018 .02
에너지 프로슈머의 풍력 발전설비 기술 및 활용방안
김형길 전기의세계 2018 .03
전력 분야 공공기관 기관장 6명 나란히 취임 외
편집부 전기의세계 2018 .03

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-560-001815747