Resist Pattern Collapse Using Atomic Force Microscope

이해원; 김성경

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이해원 김성경

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2004년도 춘계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 2004.4

수록면: 50 - 50 (1page)

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Haiwon Lee

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주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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김성경

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