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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
196 - 201 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

원자간력 현미경을 이용한 구면 형상 측정
신영현 ,  정판곤 ,  홍성욱 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

2005

원자간력 현미경을 이용한 대면적 표면 형상 측정
신영현 ,  고명준 ,  홍성욱 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

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This paper presents a method to measure a spherical shape using atomic force microscope. Experiments are performed to measure a radius of spherical lens. The proposed method is rigorously compared with the coordinate measuring machine. The repetition accuracy and the effects of the set point are also studied. The experimental results show that the proposed method is useful and should be effective to measure the micro-accuracy global shape of mezzo/micro parts using atomic force microscope. However, further research is required to compensate for the error associated with angle between the cantilever tip and the measured surface.
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Coordinate Measuring Machine(3차원 측정기) #Noncontact Measurement(비접촉측정) #Force Gradient(힘구배)

목차

Abstract
1. 서론
2. 원자간력 현미경을 이용한 형상 측정
3. 구면 형상 측정
4. 측정 및 결과 분석
5. 반경 측정 방법의 개선
6. 결론
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