원자간력 현미경을 이용한 초소형 마이크로 부품 표면 형상 측정 시스템 개발

홍성욱; 고명준; 신영현; 이득우

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍성욱 고명준 신영현 이득우

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.14 No.6

발행연도: 2005.12

수록면: 22 - 30 (9page)

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This paper proposes a measurement method for the surface shape of micro-parts by using an atomic force microscope(AFM). To this end, two techniques are presented: First, the measurement range is expanded by using an image matching method based on correlation coefficients. To account for the inaccuracy of the coarse stage implemented in AFM, the image matching technique is applied to two neighboring images intentionally overlapped with each other. Second, a method to measure the shape of relatively large specimen is proposed that utilizes the inherent trigger mechanism due to the atomic force. The proposed methods are proved effective through a series of experiments.

#Atomic force microscope(원자간력 현미경) #Image matching(영상정합) #Correlation coefficient(상관계수) #Coordinate measuring machine(3차원 측정기) #Contact/Noncontact measurement(접촉/비접촉 측정) #Force gradient(힘구배)

참고문헌 (8)

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Park , 2004 , Vibration Characteristics and Performance Evaluation for Cantilever in Non-contact Atomic Force Microscopy

Park, J. W. , 2005 , ＂Fabrication of Micro Diamond Tip Cantilever for AFM and Its Application＂ : 395 ~ 400

Lee, J. K. , 1997 , A Study on the Allowable Correlation Coefficient Determination for Image Matching in Digital Photogrammetry＂ 5 (2) : 99 ~ 110

Neemuchwala, H., , 2005 , ＂Image matching using alpha-entropy measures and entropic graphs＂ 85 : 277 ~ 296

Lim, M. C., , 2000 , Image Matching by First Eigenvector and Histogram Analysis＂ 27 (10) : 1054 ~ 1061

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