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Microheaters with different structures were fabricated and compared to find an optimal configuration enhancing the performances of C₂H₂ gas sensor. Three temperature sensors were integrated on the surface of the insulation layer over the microheater, and resistance changes were observed to check the generated heat from the microheater. A low operating voltage of 1mV was applied to the temperature sensor to minimize any influence of thermal heat from the resistance type temperature sensor, whereas high voltages in the range between 10 and 20V were applied to the microheater. A microheater structure generating maximum heat at low voltage was determined. The generated heat was verified by the temperature sensors on the top of the Si₃N₄ and infrared camera. A long term stability and accuracy of the microheater were observed. The developed microheater was applied to enhance the performances of C₂H₂ gas sensor and successfully confirmed that the developed microheater greatly contributes to the improvement of sensitivity and selectivity of gas sensor.
목차
Abstract
1. 서론
2. 최적 소자 파라미터 및 COMSOL 시뮬레이션
3. 제작 및 측정 셋업
4. 결과
5. 결론
References
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
A. Ahmed / 2014 / Design and Characterization of Embedded Microheater on CMOS-MEMS Resonator for Application in Mass-Sensitive Gas Sensors / 5th International Conf. on Intelligent and Advanced Systems
Q. Zhoua / 2015 / Fast Response Integrated MEMS Microheaters for Ultra Low Power Gas Detection / Sensors and Actuators A 223:67~75
G. Chung / 2002 / The Fabrication of Micro-Heaters with Low-Power Consumption Using SOI and Trench Structures / Metals and Materials International 8:347~351
W. Hwang / 2011 / Development of Micro-Heaters with Optimized Temperature Compensation Design for Gas Sensors / Sensors 11:2580~2591
W. Chang / 2016 / Multilayer Microheater Based on Glass Substrate Using MEMS Technology / Micro-electronic Engineering 149:25~30
Q. Zhoua / 2015 / Fast Response Integrated MEMS Microheaters for Ultra Low Power Gas Detection / Sensors and Actuators A 223:67~75
G. Chung / 2002 / The Fabrication of Micro-Heaters with Low-Power Consumption Using SOI and Trench Structures / Metals and Materials International 8:347~351
W. Hwang / 2011 / Development of Micro-Heaters with Optimized Temperature Compensation Design for Gas Sensors / Sensors 11:2580~2591
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