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학술대회자료
저자정보
라기원 (한밭대학교) 이종광 (한밭대학교)
저널정보
한국추진공학회 한국추진공학회 학술대회논문집 한국추진공학회 2018년도 제51회 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.12
수록면
264 - 267 (4page)

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이 연구에서는 DRIE 기술을 이용하여 마이크로 노즐을 제작하고 특성 평가를 하였다. CFD 해석 결과, 홀 형태의 노즐은 점성의 영향으로 유효 면적이 변하여 노즐 출구에서 초음속에 도달함을 확인하였다. 또한 scallop이 추력에 미치는 영향은 무시할 수 있음을 확인하였다. Scallop을 제거하고 추력 측정 실험을 진행한 결과, 실험적으로도 scallop의 영향은 무시할 수 있음을 확인하였다. DRIE 기술로 제작된 마이크로 노즐은 마이크로 추력기의 노즐로 사용할 수 있음을 확인하였다.
#MEMS(Micro Elctro Mechaniacal Systems) #DRIE(Deep Reactive Ion Etching) #Micro nozzle(마이크로 노즐) #Scallop(DRIE 가공 시 발생하는 요철 형상)

목차

ABSTRACT
초록
1. 서론
2. 마이크로 노즐 설계
3. 마이크로 노즐 CFD 해석
4. 마이크로 노즐 제작
5. 추력 측정 실험
6. 결론
7. 참고문헌

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