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한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제25권 제1호
발행연도
2018.1
수록면
54 - 59 (6page)

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Sb-doped SnO2 (ATO) transparent conducting films are fabricated using horizontal ultrasonic spray pyrolysis deposition (HUSPD) to form uniform and compact film structures with homogeneously supplied precursor solution. To optimize the molar concentration and transparent conducting performance of the ATO films using HUSPD, we use precursor solutions of 0.15, 0.20, 0.25, and 0.30 M. As the molar concentration increases, the resultant ATO films exhibit more compact surface structures because of the larger crystallite sizes and higher ATO crystallinity because of the greater thickness from the accelerated growth of ATO. Thus, the ATO films prepared at 0.25 M have the best transparent conducting performance (12.60±0.21 Ω/□ sheet resistance and 80.83% optical transmittance) and the highest figure-of-merit value (9.44±0.17 × 10-3 Ω-1). The improvement in transparent conducting performance is attributed to the enhanced carrier concentration by the improved ATO crystallinity and Hall mobility with the compact surface structure and preferred (211) orientation, ascribed to the accelerated growth of ATO at the optimized molar concentration. Therefore, ATO films fabricated using HUSPD are transparent conducting film candidates for optoelectronic devices.

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M. Y. Hassaan / 2017 / Ceram. Int. 43:1795 google schola 김종민 / 2015 / F-Doped SnO2 Thin Film/Ag Nanowire 이중층의 전기적 및 광학적 특성 / 한국재료학회지 25(3):125~131 google schola 배주원 / 2017 / Sn-Doped In2O3 나노잉크를 위한 나노로드의 복합화에 따른 용액기반 투명 전도성 산화물의 저온성능 / 한국재료학회지 27(3):149~154 google schola 구본율 / 2014 / 저온 공정을 이용한 용액 기반 Sb-doped SnO2 투명 전도막의 전기적 및 광학적 특성 / 한국재료학회지 24(3):145~151 dbpia B. R. Koo / 2017 / Ceram. Int. 43:6124 google schola

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