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저널정보
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제25권 제2호
발행연도
2018.1
수록면
144 - 150 (7page)

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Al2O3-SiC ceramic composites are produced using pressureless sintering, and their plasma resistance, electrical resistance, and mechanical properties are evaluated to confirm their applicability as electrostatic-discharge-safe components for semiconductor devices. Through the addition of Mg and Y nitrate sintering aids, it is confirmed that even if SiC content exceeded 10%, complete densification is possible by pressureless sintering. By the uniform distribution of SiC, the total grain growth is suppressed to about 1 μm; thus an Al2O3-SiC sintered body with a high strength over 600 MPa is obtained. The optimum amount of SiC to satisfy all the desired properties of electrostaticdischarge-safe ceramic components is obtained by finding the correlation between the plasma resistance and the electrical resistivity as a function of SiC amount.

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김대민 / 2008 / Plasma Resistances of Yttria Deposited by EB-PVD Method / 한국세라믹학회지 45(11):707~712 google schola 김경범 / 2009 / 불소계 플라즈마에 노출된 YAG 세라믹스의 식각거동 및 XPS 분석 / 한국세라믹학회지 46(5):456~461 google schola 이현권 / 2009 / 내플라즈마성 알루미나 세라믹스 제조 공정 / 한국세라믹학회지 46(4):385~391 google schola 김대민 / 2008 / Microstructural Changes of the Al2O3 Ceramics during the Exposure to Fluorine Plasma / 한국세라믹학회지 45(7):405~410 google schola M. Mitomo / 1990 / J. Mater. Sci. Lett. 10:83 google schola

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