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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제21권 제4호
발행연도
2014.1
수록면
45 - 49 (5page)

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본 연구에서는 낮은 비용과 간단한 공정의 장점을 가지고 있는 저온수열합성법을 이용하여 r-plane (1-102)sapphire 기판 위에 non-polar a-plane ZnO 박막을 성장하였다. 일반적으로 nanorod 형태의 ZnO를 성장시키는 특성을 보이는 Hexamethylenetetramine (HMT)와 2D layer 형태의 ZnO를 성장특성을 보이는 것으로 알려진 sodium citrate, 두 가지 전구체를 동시에 첨가하여 성장 하였을 때 몰 농도의 변화에 따른 ZnO 성장 특성을 비교해 보았다. ZnO 구조체의 형태와 특성 변화에 대하여 field emission scanning electron microscope (FE-SEM), high resolution X-ray diffraction(HRXRD)을 이용하여 분석을 진행하였다. 결과적으로, 두 가지의 용액의 특정 몰 농도일 때 r-plane (1-102) sapphire 기판 위에서 non polar a-plane (11-20) ZnO 구조체가 성장 될 수 있음을 확인 하였다. 이는 첨가제 조건에 의하여 c축 성장을 억제시키고, 측면 성장을 촉진시키는 반응에 의한 것으로 생각된다.
#Non-polar ZnO #Hydrothermal Synthesis #R-plane sapphire #AZO seed layer

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A. P. de Moura / 2010 / ZnO architectures synthesized by a microwaveassisted hydrothermal method and their photoluminescence properties / Solid State Ionics 181 : 775 ~ google schola D. -H. Mun / 2014 / Effects of Precursor Concentration on the Properties of ZnO Nanowires Grown on (1?102) RPlane Sapphire Substrates by Hydrothermal Synthesis / J. Nanosci. google schola D. Andeen / 2006 / Lateral Epitaxial Overgrowth of ZnO in Water at 90oC / Advanced Funcitonal Materials 16 (6) : 799 ~ google schola D. Pradhan / 2008 / Controlled Growth of Two- Dimensional and One-Dimensional ZnO Nanostructures on Indium Tin Oxide Coated Glass by Direct Electrodeposition / Langmuir 24 ( google schola H. C. Chou / 2012 / Energy Scavenging Using ZnONanorods Grown on Flexible Substrates / Electronic Materials Conference : 20 ~ google schola

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