Magnetic soft mold를 이용한 나노 와이어 그리드 편광 필름 연구

조상욱; 장성환; 최두선; 허석환; 정명영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 조상욱 장성환 최두선 허석환 정명영

저널정보: 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제20권 제2호

발행연도: 2014.1

수록면: 85 - 89 (5page)

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본 연구에서는 자기 소프트 몰드를 이용하여 피치 143.59 nm의 고 성능 NWGP(Nano Wire Grid Polarizer)필름의 새로운 제조 방법을 제안하였다. 제작된 편광필름은 6 cm×6 cm의 PET기판위에 알루미늄 격자 구조를 가지고 있으며, 이는 TFT-LCD(Thin Flat Transistor Liquid Crystal Display)에 응용 가능할 것으로 보인다. 자기 소프트 몰드는 너비 70.39 nm의 규격으로 제작되었으며, 이를 이용하여 2단계의 복제과정을 거쳐 제작되어진다. 이를 통해 본 연구에서는기판위에 75.68 nm 선폭과 64.76 nm의 높이 143.59 nm pitch를 가지는 격자구조의 NWGP 패턴을 제작하였다. 또한, 이는 800 nm 파장 영역 대에서 75%의 최대 투과율과 10%의 최소 투과율을 가지는 것을 확인하였다. 따라서, 본 공정을 통해 독창적인 저 비용의 나노패터닝 기술로 디스플레이 산업에서 적용되어 질 것으로 보여진다.

#Nano wire grid polarizer film #Nano imprint #Magnetic soft mold #Nano replication

참고문헌 (8)

참고문헌 신청

K. Asano / 2014 / Fabrication and characterization of a deep ultraviolet wire grid polarizer with a chromium-oxide subwavelength grating / Applied Optics. 53 (13) : 2942 ~

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X. W. Lin / 2011 / Optimization of bi-layered nano-wire grids as high-efficiency polarizers for power recycling in liquid-crystal displays / Journal of the Society for Inform

Y. J. Shin / 2012 / Facile route of flexible wire grid polarizer fabrication by angled evaporations of aluminum on two sidewalls of animprinted nanograting / Nanotechnology 2