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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제13권 제3호
발행연도
2004.1
수록면
218 - 223 (6page)

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Thin film gas sensor based on tin oxide was fabricated and its characteristics were examined. Target gas is acetonitrile (CH3CN) that is simulant gas of blood agent gas. Sensing materials are SnO2, SnO2/Pt, and (Sn/Pt)oxidation with thickness from 1000Å to 3000Å. Sensor was consisted of sensing electrode with interdigit(IDT) type in front side and a heater in back side. Its dimension was 7×10×0.6㎣. Fabricated sensor was measured as flow type and monitored real time using PC. The optimal sensing material for CH3CN was {Sn(3000Å)/Pt(30Å)}oxidation and its sensitivity and operating temperature were 30%, 300℃ in CH3CN 3ppm.
#SnO2 #thin film #CH3CN #blood agent gas

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참고문헌 (10)

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/ 2003. / NIST Standard Reference Database Number 69 google schola C. H. Shim etc / 2002. / Gas sensing characteristics of SnO2 thin film fabricated by thermal oxidation of a Sn/Pt double layer 81 : 176 ~ 181 google schola Timothy C. Marrs / 1996. / Chemical warfare agents : 204 ~ google schola VWXY / 2001. / 세서의 활용 : 78 ~ 80 google schola 곽두영 / 2002. / LabVIEWTM 컴퓨터 기반의 제어와 계측 Solution google schola

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