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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제17권 제5호
발행연도
2004.1
수록면
508 - 514 (7page)

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A fluxgate magnetic sensor consists of a solenoid excitation coil, pick-up coil, and magnetic core. We presents the effect of magnetic core shape in a micromachined fluxgate sensor. To observe the performance of fluxgate sensor with magnetic core side width and gap, side width of 125 μm, 250 μm, and 500 μm were designed in a rectangular-ring shaped core and the gaps of 0 μm, 50 μm, and 100 μm were also fabricated in a racetrack shaped core. The solenoid coils and magnetic core were separated by benzocyclobutane(BCB) which had high insulation and good planarization characters. Copper coil patterns of 10 μm width and 6μ m thickness were electroplated on Ti(300 ) / Cu(1500 ) seed layers. 3 μm thick Ni0.8Fe0.2(permalloy) film for the magnetic core was also electroplated under 2000 gauss to induce the magnetic anisotropy. The magnetic core had the high DC effective permeability of ～ 1,300 and coercive field of ~0.1 Oe. Because the magnetic cores of 500 μm side width and 0μm gap had a low magnetic flux leakage, high sensitivity of ～ 350 V/T were measured at excitation condition of 3 VP-P and 2 MHz square wave. The power consumption of ～ 14 mW was measured. The fabricated fluxgate sensor had the very small actual size of 3.0×1.7 mm2. When two fluxgates were perpendicularly aligned in terrestrial field, their two-axis output signals were very useful to commercialize an electronic azimuth compass for the portable navigation system.
#Micro #Fluxgate #Magnetic #Sensor #Racetrack

목차

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참고문헌 (14)

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/ 1935. / Direction responsive system google schola / 1970. / The Fluxgate Mechanism 6 : 376 ~ google schola / 1979. / The Fluxgate Magneto 12 : 241 ~ google schola / 1990. / Improved Fluxgate for Compasses and Position Sensors 83 : 543 ~ google schola / 1991. / Micromachined Solenoids for Highly Sensitive Magnetic Sensor : 1077 ~ google schola

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