박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

HCl 용액을 이용한 α-Ga2O3 epitaxy 박막의 습식 식각

최병수 ,  엄지훈 ,  엄해지 외 5명

한국결정성장학회지

2022 .02

GaN epitaxy 층의 식각특성에 미치는 공정변수의 영향

최병수 ,  박혜리 ,  조현

한국결정성장학회지

2016 .01

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

펄스 플라즈마를 이용한 식각

양경채 ,  김수강 ,  신예지 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

비등방성 식각 방식을 활용한 실리콘 기반 투명 마이크로 모듈 제작

강동균 ,  편도원 ,  이해석 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2022 .04

High Polymeric HFC 이용, HARC 공정에서의 고 선택비 식각 공정 연구

탁현우 ,  이혜주 ,  정병호 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

HARC 식각 공정의 OES 신호를 활용한 규칙 기반의 식각 종료점 감지 알고리즘

박찬 ,  이준희 ,  박용범 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2022 .04

태양전지 후면 식각 공정의 인공신경망 기반 식각 용액 화학 포텐셜 예측 기술

김수민 ,  오현주

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2023 .11

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

고밀도 플라즈마를 이용하여 식각된 MoS₂ 박막의 선택비개선 연구

우종창 ,  신승헌 ,  이정원 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2024 .06

The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching

명노선

전자공학회지

2020 .02

플라즈마 식각 공정에서 의사결정 알고리즘을 이용한 실시간 식각 종료점 검출

노호택 ,  박영국 ,  한승수

전기전자학회논문지

2016 .03

Low GWP 가스 저온 ICP 식각 공정 표면 분석

장호준 ,  최진우 ,  배정운 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

레이저 식각을 활용한 자동차 내장부품 표면 처리 연구

이평찬 ,  김보람 ,  정선경 외 3명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2018 .06

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

한반도에서의 전천일사량을 이용한 광합성유효복사량 추정 모델 개발 및 검증

최경배 ,  이윤곤 ,  김창기

한국태양에너지학회 논문집

2021 .06

AC형 LED PAR38 협각 광학계 연구

이창수 ,  김장윤 ,  김호인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01